VOCs对空气质量和人体健康有害，有效控制此类污染物具有重要意义。目前，我国工业VOCs排放量占人为VOCs排放量的50%左右，涉及油漆、农药及药品、油漆、油墨和染料生产、电子工业、石油化工、家具制造、印刷等行业，是重点控制对象.

简述电子行业VOCs废气的特点及处理工艺

电子行业一般可分为电子专用材料、半导体器件、电子元器件及印刷电路板、电真空器件、平板显示器件、光电器件、电子终端产品等。

1 电子行业废气中VOCs的特征

电子行业VOCs废气具有风量大、浓度低的特点。废气种类繁多，成分复杂。常见的成分包括苯、甲苯、丙酮、正丁醇、丙醇单甲醚、环己酮、正庚烷、甲基氢呋喃、三氯乙烯和氯仿。VOCs废气中还含有酸性气体、碱性气体和有毒气体。这些废气如果不进行处理，不仅会对周围环境造成极大的危害，还会严重影响工人的身体健康。长期接触这些气体会刺激肺和皮肤黏膜，导致呼吸和皮肤疾病。

2 电子行业VOCs产生的过程环节

电子行业VOCs废气主要来源于半导体设备、电子元器件、电子元器件、平板显示器、整机外壳等表面涂装工艺所使用的溶剂型涂料、有机脱脂剂、脱水剂、感光成像等清洁过程中使用的过程。使用光刻胶稀释剂、显影剂、脱胶剂、液体阻焊剂、脱膜剂等有机溶剂的工艺环节。电子行业主要涉及光伏制造和电子元件制造中VOCs的产生。

1）光伏行业典型的生产工艺是多晶硅电池的生产工艺。产生VOCs的环节包括切割、粘合、清洗、印刷、烧结等工序。

2) 电子元件包括电容、电阻、电位器、电感、电子变压器、控制元件、电子敏感元件、传感器和印刷电路板等。工艺涉及注塑、喷涂/印刷、干燥、清洗等，会产生VOCs在所有链接中。

3 VOCs污染防治措施

1）加强源头控制

鼓励VOCs排放企业积极使用环保材料，推动落后传统工艺升级换代，使用低挥发性原料，改善生产经营条件减少无组织排放，采用新工艺减少有机溶剂用量，控制VOCs从源头排放。

2）加强末端管理

根据电子行业VOCs排放的特点电子工业，采用的末端处理技术主要有吸附法和焚烧法。吸附法采用多孔固体吸附剂（如沸石转轮、活性炭）对混合气体进行处理。活性炭是一种非极性吸附剂，对非极性化合物有很强的吸附能力。一般可以净化低浓度VOCs，净化效率在90%左右。沸石转轮与活性炭的使用条件和原理相似，但沸石转轮因其净化效率高、浓缩比高、可连续运行等优点而被广泛使用。沸石浓缩转轮+焚烧法去除效率可达90%；

对于半导体、TFT-LCD、LED、PCB等企业来说，有机废气中一般还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。处理工艺一般采用“预处理+吸附浓缩焚烧法”相结合电子工业，即前端喷淋塔冲洗，沸石浓缩转轮+焚烧法。

（以上内容请参考《关于电子行业废气VOCs排放特征及防治对策的探讨》和《浙江省电子行业挥发性有机物污染防治可行技术指南》）

4 电子行业应用案例

某半导体制造企业转轮+RTO废气处理系统

根据本行业废气的特点，需要一个浓缩+焚烧的过程。浓缩转轮用于对风量大、浓度低的废气进行浓缩，浓缩后的尾气进入RTO焚烧；焚烧产生的余热可用于转轮的解吸，尽可能实现能源的再利用，节约运行成本。与直燃炉相比，该方案可大大节省运行成本（节省运行成本60%以上）。

另外，由于本行业存在腐蚀性气体，需注意预处理和热能利用方案的选择；如果措施不当，在运行阶段很容易对设备本体造成不可挽回的影响和损坏。